NTT、AIとロボットで半導体成膜の実験サイクルを約3倍に高速化 酸化ガリウムの単結晶薄膜作製に成功

NTTは、AIとロボット技術を組み合わせ、薄膜の成長条件を自律的に最適化する「解釈可能な自律成膜」を実証した。成膜・評価サイクルを従来比約3倍に高速化し、スパッタ法としてβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶薄膜の作製に成功したほか、実験データから研究者が理解・転用できる成膜ルールを抽出した。