JFEテクノリサーチ、空間分解能0.40μmの3次元X線顕微鏡による非破壊解析サービスを開始

JFEテクノリサーチは、Sigray製3次元X線顕微鏡「ApexHybrid-210」を活用した非破壊解析技術を確立し、受託分析サービスの本格提供を開始した。最大直径300mmの試料に対応し、空間分解能0.40μmを実現。全固体電池の微細クラックや、先端半導体パッケージ内部のハイブリッドボンディング構造などを試料の切断を行わずに可視化できるという。